長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量

SOM245/10

SOM255/10

SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中，SOM200/10系列為長寸測量設備，又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機，主要應用于長寸測量，兼容短寸測量，可選配光刻膠膜厚測量；SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備，主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術，可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。

● 多功能測量

● 高測量精度

● 高測量效率

● 高精度的溫度控制和高效潔凈系統