![]() SOM245/10 |
![]() SOM255/10 |
● 多功能測量
● 高測量精度
● 高測量效率
● 高精度的溫度控制和高效潔凈系統
型號 |
SOM245 | SOM255 |
SOM260 |
基板尺寸 |
730mm×920mm | 1100mm×1300mm |
1500mm×1850mm 1300mm×1500mm |
TP測量重復性 |
300nm | 300nm |
300nm |
TP測量復現性 |
400nm | 500nm |
500nm |
CD/OL測量重復性 |
30nm | 30nm |
30nm |
CD/OL測量復現性 |
40nm | 40nm |
40nm |
Tact Time |
5 min | 6 min |
7 min |