![]() SLD500 |
![]() SLD300 |
● 翹曲片退火
● 出色光學系統
● 超薄硅片傳輸
● 精確熱效應控制
● 高產能
型號 | SLD500 | SLD300 |
硅片類型 | 6"/8"/12" Wafer | 2"/4"/6" SiC |
硅片厚度 | Taiko ≥50μm Non-Taiko ≥120μm |
Taiko ≥50μm Non-Taiko ≥100μm |
掃描方式 | Scan & Step | Scan |