300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices制造
 SSB300 |
 SSB380 |
 SSB320 |
SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域，滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
產品特征
● 高分辨率，分辨率可達0.8μm
● 高速在線MAPPING技術
● 高精度拼接
● 多尺寸基底自適應切換
● 高產能
● 高精度套刻
● 完美匹配ALIGNER
主要技術參數
| 型號 | SSB300 | SSB320 | SSB380 |
| 分辨率 | 0.8μm | 2μm | 1.5μm |
| 曝光光源 | i-line mercury lamp | i-line mercury lamp | i-line mercury lamp |
| 基底尺寸 | 100/150 mm | 100/150 mm | 100/150 mm |
| 工藝應用 | 支持LED PAD/PSS工藝 | 支持LED PAD工藝 | 支持LED PAD工藝 |
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可選配置 |
背面對準和可變狹縫（Variable Slit） |
背面對準和可變狹縫（Variable Slit） |
背面對準和可變狹縫（Variable Slit） |
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