金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測
 SOC260 |
SOC260主要應用于G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
產品特征
● 龍門氣浮結構
● 多自由度激光干涉儀
● 高精度
● 高效率
● 可配置不同的照明方式
● 可靠的溫度控制系統
主要技術參數
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型號 |
SOC260 |
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線寬測量重復性 |
100nm@3sigma（On Metal Mask） |
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線寬測量精度 |
±300nm（On Mapping Glass） |
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長寸測量重復性 |
300nm@3sigma（On Mapping Glass） |
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長寸測量重復性 |
500nm@3sigma（On Metal Mask） |
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